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平板拋光機鏡面加工技術(shù)之淺談
平板拋光機鏡面加工技術(shù)是一種集現代機械、光學(xué)、電子計算機、測量和材料于一體的新型綜合性加工技術(shù),已成為國家科技發(fā)展水平的重要標志。
隨著(zhù)各種新型功能陶瓷材料的成功開(kāi)發(fā),這些材料廣泛應用于各種高性能電子元件、光學(xué)、信息系統等領(lǐng)域,要求元件和部件的加工精度越來(lái)越高,有的甚至要求達到納米或更高的加工精度和無(wú)損表面加工質(zhì)量。對于拋光,主要是在保持磨削平面度良好的前提下,去除工件表面的微小凸起和表面損傷層,以獲得鏡面光度。因此,整個(gè)工件表面需要全面拋光。反映在速度上,即工件表面各點(diǎn)的相對速度應隨時(shí)保持恒定。工件是不變形的剛體,拋光盤(pán)是根據工件加工表面形狀變形的彈性體。此時(shí),可以忽略?xún)烧咧g的磨粒和加工液的厚度和形狀變化,認為工件與拋光盤(pán)完全緊密;當工件尺寸大于拋光盤(pán)半徑或偏心距離過(guò)大時(shí),工件會(huì )露出拋光盤(pán),部分表面不能始終與拋光盤(pán)接觸;當研磨或拋光過(guò)程中工件材料的平行度誤差超過(guò)允許范圍時(shí),需要修改其平行度。
在平板拋光機的鏡面拋光過(guò)程中,可以認為工件的去除量主要取決于磨削路徑的長(cháng)度,因此可以更準確地控制工件表面的磨削路徑長(cháng)度。
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